編者按 在市第十四次黨代會(huì)上,長(zhǎng)沙明確提出以“雙五”工程——“五區(qū)”建設(shè)和“五個(gè)十大”為抓手,推動(dòng)現(xiàn)代化新長(zhǎng)沙建設(shè)取得明顯成效。其中,“五個(gè)十大”包括“十個(gè)重大城市片區(qū)”“十個(gè)重大引領(lǐng)性產(chǎn)業(yè)項(xiàng)目”“十個(gè)重大科技創(chuàng)新標(biāo)志性項(xiàng)目”“十個(gè)重大基礎(chǔ)設(shè)施項(xiàng)目”“十個(gè)重大民生項(xiàng)目”,是未來(lái)五年長(zhǎng)沙的突破重點(diǎn)。即日起,長(zhǎng)沙晚報(bào)推出探訪“五個(gè)十大”項(xiàng)目現(xiàn)場(chǎng)系列報(bào)道,看項(xiàng)目進(jìn)展情況,探項(xiàng)目潛力所在。 長(zhǎng)沙晚報(bào)全媒體記者 朱澤寰 “這是我國(guó)首條、全球第三條碳化硅全產(chǎn)業(yè)鏈生產(chǎn)線。”10月12日,湖南三安半導(dǎo)體有限責(zé)任公司黨支部書記、副總經(jīng)理張潔在位于長(zhǎng)沙高新區(qū)的湖南三安半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)園內(nèi)自豪地說(shuō),項(xiàng)目一期主要包含碳化硅長(zhǎng)晶、襯底、外延、器件封裝等廠房及相關(guān)配套設(shè)施,已于今年6月23日投產(chǎn)。 三安半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)園項(xiàng)目共分為兩期建設(shè),項(xiàng)目一期預(yù)計(jì)將年底實(shí)現(xiàn)產(chǎn)線的全線貫通;當(dāng)項(xiàng)目二期建成達(dá)產(chǎn)后,預(yù)計(jì)可實(shí)現(xiàn)年產(chǎn)值逾120億元,年稅收17億元。項(xiàng)目全面建成后,將成為推動(dòng)湖南新一代半導(dǎo)體及集成電路產(chǎn)業(yè)鏈發(fā)展的強(qiáng)大動(dòng)力。 比醫(yī)院手術(shù)室還“干凈”的作業(yè)環(huán)境 當(dāng)日,記者驅(qū)車來(lái)到位于長(zhǎng)沙高新區(qū)的三安半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)園項(xiàng)目,老遠(yuǎn)就看到一幢偌大的單體建筑屹立在園區(qū)之內(nèi)。 “這是我們項(xiàng)目最大的單體廠房,占地面積達(dá)23206平方米,建筑面積達(dá)52326平方米。”站在M2B碳化硅芯片廠房外,張潔指著這棟巨型建筑介紹道。 “為了滿足半導(dǎo)體制造工藝需求,生產(chǎn)車間必須達(dá)到潔凈車間的標(biāo)準(zhǔn)。”據(jù)項(xiàng)目工作人員介紹,通過(guò)在車間內(nèi)設(shè)置新風(fēng)系統(tǒng),朝室內(nèi)不斷輸送清潔空氣,可以保持室內(nèi)的正壓,再通過(guò)廣泛鋪設(shè)的通風(fēng)孔向外排氣,從而保證車間的潔凈度。 記者了解到,空氣的潔凈標(biāo)準(zhǔn)一般按照十級(jí)、百級(jí)、千級(jí)、萬(wàn)級(jí)、十萬(wàn)級(jí)……劃分,數(shù)值越小,凈化級(jí)別越高。普通公共場(chǎng)所殺菌消毒可參照三十萬(wàn)級(jí)標(biāo)準(zhǔn),醫(yī)院ICU病房殺菌消毒參照十萬(wàn)級(jí)標(biāo)準(zhǔn),M2B芯片廠房則為百級(jí)標(biāo)準(zhǔn),潔凈程度遠(yuǎn)超醫(yī)院手術(shù)室十萬(wàn)級(jí)標(biāo)準(zhǔn)。此外,在項(xiàng)目一期中的襯底、外延等單體廠房則至少是“千級(jí)”潔凈度?! ?/font> 五大工藝助力三安躋身世界一流水平 2020年6月17日,湖南三安半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)園項(xiàng)目開(kāi)工建設(shè),歷時(shí)11個(gè)月建設(shè)期,最高峰時(shí)段1500余人同步施工作業(yè)。2021年6月23日項(xiàng)目一期工程竣工點(diǎn)亮投產(chǎn)。 該項(xiàng)目具有很高的工藝水準(zhǔn)。“長(zhǎng)晶、襯底、外延、封裝等五大核心工藝,助力三安半導(dǎo)體項(xiàng)目躋身世界一流水平。”張潔說(shuō)道。 以長(zhǎng)晶為例,碳化硅晶體生長(zhǎng)的溫度在2200攝氏度以上,且生長(zhǎng)過(guò)程無(wú)法及時(shí)觀測(cè),同時(shí)碳化硅又有上百種晶態(tài)。“要在如此嚴(yán)苛的條件下,生長(zhǎng)出大尺寸、無(wú)缺陷,且為同一晶態(tài)的晶體絕非易事。”張潔說(shuō)。作為國(guó)內(nèi)最早投入碳化硅晶體生長(zhǎng)技術(shù)研發(fā)的企業(yè)之一,三安半導(dǎo)體在項(xiàng)目中使用了一種更成熟、更高生產(chǎn)效率的方法,能在相對(duì)苛刻的環(huán)境下,使生長(zhǎng)的晶體達(dá)到行業(yè)領(lǐng)先標(biāo)準(zhǔn)。目前國(guó)產(chǎn)化的長(zhǎng)晶爐在工作穩(wěn)定性上已經(jīng)優(yōu)于進(jìn)口設(shè)備。 相關(guān)技術(shù)難點(diǎn)還不止于晶體的生長(zhǎng)環(huán)節(jié)。“碳化硅晶體生長(zhǎng)與襯底制造同樣擁有較高的技術(shù)壁壘,放眼全球也僅有極少數(shù)的企業(yè)具備產(chǎn)業(yè)化的能力。”張潔表示,由于碳化硅材料的硬度極高,在自然界中僅次于金剛石,其加工難度可想而知。對(duì)此,三安半導(dǎo)體項(xiàng)目利用在晶錠“切、磨、拋”等工藝方面的獨(dú)家技術(shù)和對(duì)作業(yè)環(huán)境潔凈度的嚴(yán)格控制,能精準(zhǔn)加工出埃米級(jí)別的高平整、零污染的襯底。“埃米比我們熟知的納米還要小一個(gè)單位,是納米的十分之一。”張潔說(shuō)。 推動(dòng)長(zhǎng)沙先進(jìn)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)壯大 作為第三代化合物半導(dǎo)體的“王牌材料”,碳化硅在業(yè)內(nèi)也被稱為“金剛砂”,其在功率器件上的性能無(wú)與倫比,特別是運(yùn)用在新能源汽車、高鐵的IGBT模塊與白色家電的IPM模塊中,可直接降低40%左右的功耗。 記者了解到,當(dāng)項(xiàng)目達(dá)產(chǎn)后,“預(yù)計(jì)可實(shí)現(xiàn)年產(chǎn)值120億元以上,并進(jìn)一步帶動(dòng)上下游配套產(chǎn)業(yè)的騰飛,同時(shí)提供4500個(gè)直接就業(yè)崗位”。張潔表示,項(xiàng)目建成后,可有效解決目前國(guó)內(nèi)高端碳化硅襯底、高端碳化硅功率芯片面臨的“卡脖子”問(wèn)題。 憑借本項(xiàng)目完整的碳化硅產(chǎn)業(yè)鏈布局和強(qiáng)大的制造平臺(tái),三安半導(dǎo)體將快速發(fā)展成為具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)、掌握核心技術(shù)與行業(yè)話語(yǔ)權(quán)、具有重要國(guó)際影響的碳化硅材料與器件產(chǎn)業(yè)生產(chǎn)基地。同時(shí),由于半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈中,上游產(chǎn)業(yè)對(duì)于中、下游產(chǎn)業(yè)的放大效應(yīng),項(xiàng)目的進(jìn)一步推進(jìn),也必將推動(dòng)湖南、長(zhǎng)沙先進(jìn)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)壯大。 對(duì)話 堅(jiān)持自主創(chuàng)新 掌握行業(yè)話語(yǔ)權(quán) (對(duì)話人:湖南三安半導(dǎo)體有限責(zé)任公司黨支部書記、副總經(jīng)理張潔) 問(wèn):湖南三安半導(dǎo)體項(xiàng)目有何戰(zhàn)略意義? 答:湖南三安半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目,是三安光電放眼全球、精心布局、實(shí)現(xiàn)科學(xué)發(fā)展、培育新產(chǎn)業(yè)集群的又一創(chuàng)舉,肩負(fù)著三安光電“打造具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)民族高科技產(chǎn)業(yè),踐行產(chǎn)業(yè)報(bào)國(guó)、科技強(qiáng)國(guó)”的發(fā)展愿景和歷史使命。 問(wèn):湖南三安半導(dǎo)體公司在行業(yè)內(nèi)有何競(jìng)爭(zhēng)優(yōu)勢(shì)? 答:湖南三安依托三安集成平臺(tái),目前擁有2000多項(xiàng)國(guó)內(nèi)外專利及專有技術(shù),其中發(fā)明專利占86.7%。公司主營(yíng)方向?yàn)榈谌衔锇雽?dǎo)體材料與器件的研發(fā)生產(chǎn),產(chǎn)品主要應(yīng)用于新能源汽車、高鐵機(jī)車、無(wú)線通信、電網(wǎng)等領(lǐng)域。公司憑借完整的碳化硅產(chǎn)業(yè)鏈布局和強(qiáng)大的制造平臺(tái),將快速發(fā)展成為具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)、掌握核心技術(shù)與行業(yè)話語(yǔ)權(quán)、具有重要國(guó)際影響力的碳化硅材料與器件產(chǎn)業(yè)生產(chǎn)基地。 問(wèn):未來(lái),湖南三安半導(dǎo)體將有何發(fā)展規(guī)劃? 答:湖南三安將以“三高四新”戰(zhàn)略為引領(lǐng),堅(jiān)持自主創(chuàng)新,持續(xù)建造具備世界影響力的半導(dǎo)體集成電路研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化基地,打造舉世矚目的功率半導(dǎo)體高地,以領(lǐng)先的一體化科技創(chuàng)新,助力長(zhǎng)沙建成世界級(jí)新一代半導(dǎo)體材料技術(shù)及產(chǎn)業(yè)發(fā)展中心。 項(xiàng)目名片 湖南三安半導(dǎo)體項(xiàng)目位于長(zhǎng)沙高新區(qū),總占地面積約1000畝,總投資約160億元,分兩期建設(shè),建設(shè)周期為48個(gè)月。2021年6月,項(xiàng)目一期已實(shí)現(xiàn)點(diǎn)亮試投產(chǎn),在不到一年時(shí)間里實(shí)現(xiàn)項(xiàng)目一期投產(chǎn),創(chuàng)造了三安項(xiàng)目建設(shè)的“長(zhǎng)沙速度”和“高新紀(jì)錄”。三安半導(dǎo)體項(xiàng)目是湖南省2021年十大重點(diǎn)產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目、湖南省“100個(gè)”重大產(chǎn)業(yè)建設(shè)項(xiàng)目、長(zhǎng)株潭一體化2021年三十大標(biāo)志工程項(xiàng)目和2021年湖南省電子信息制造業(yè)重點(diǎn)項(xiàng)目。 |
5月8日上午,羅氏制藥中國(guó)全新生物制藥生產(chǎn)基地投資項(xiàng)目啟
在黔北大地的層巒疊嶂間,一片曾經(jīng)“地?zé)o三尺平”的荒蕪之
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