近日，青島高新區(qū)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)再次傳來好消息，由青島賽爾微電子有限公司投資建設(shè)的賽爾微電子半導(dǎo)體設(shè)備研發(fā)制造項(xiàng)目、由青島海迪克半導(dǎo)體科技有限公司投資建設(shè)的海迪克半導(dǎo)體設(shè)備研發(fā)制造項(xiàng)目簽約落戶青島高新區(qū)，進(jìn)一步為園區(qū)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)強(qiáng)鏈補(bǔ)鏈、擴(kuò)充產(chǎn)業(yè)規(guī)模。

據(jù)了解，賽爾微電子半導(dǎo)體設(shè)備研發(fā)制造項(xiàng)目落成達(dá)產(chǎn)后，將主要從事擴(kuò)散爐和低壓氣相化學(xué)沉積設(shè)備的研發(fā)和生產(chǎn)，產(chǎn)品是半導(dǎo)體芯片等產(chǎn)品生產(chǎn)過程中必需的設(shè)備，涉及半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的核心技術(shù)和國家戰(zhàn)略，也是當(dāng)前我國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)被“卡脖子”的主要領(lǐng)域之一，國產(chǎn)替代前景較好，市場空間巨大。

海迪克半導(dǎo)體設(shè)備研發(fā)制造項(xiàng)目主要從事半導(dǎo)體行業(yè)高精度控制系統(tǒng)及設(shè)備的設(shè)計(jì)、制作與維護(hù)服務(wù)，產(chǎn)品包括擴(kuò)散爐、真空爐、LED退火爐、氣相化學(xué)沉積設(shè)備等設(shè)備。該項(xiàng)目的引進(jìn)將有效補(bǔ)充園區(qū)半導(dǎo)體專用設(shè)備領(lǐng)域鏈條內(nèi)容，并有效促進(jìn)我國半導(dǎo)體設(shè)備相關(guān)領(lǐng)域自主可控能力提升，對于保障產(chǎn)業(yè)安全具有積極意義。

據(jù)悉，擴(kuò)散爐、退火爐、氣相化學(xué)沉積設(shè)備等均屬于前道工序設(shè)備，應(yīng)用于晶圓制造和部分先進(jìn)封裝晶圓處理環(huán)節(jié)。園區(qū)已有青島賽瑞達(dá)電子科技有限公司實(shí)現(xiàn)相關(guān)設(shè)備產(chǎn)品的生產(chǎn)銷售。賽爾微電子及海迪克半導(dǎo)體設(shè)備研發(fā)制造兩個項(xiàng)目落地建成后，青島高新區(qū)在半導(dǎo)體專用設(shè)備研發(fā)方面將初步形成產(chǎn)業(yè)集聚，助推半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展。

半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)作為青島高新區(qū)新一代信息技術(shù)產(chǎn)業(yè)的細(xì)分領(lǐng)域，近年來一直在逐步擴(kuò)大規(guī)模，目前已形成了除晶圓制造以外包括芯片設(shè)計(jì)、封裝測試、設(shè)備制造、材料方向等在內(nèi)的半導(dǎo)體全產(chǎn)業(yè)鏈雛形。青島高新區(qū)招商部新一代信息技術(shù)產(chǎn)業(yè)事業(yè)部負(fù)責(zé)人介紹道，根據(jù)生產(chǎn)流程，園區(qū)的半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)大致可分為設(shè)備類、材料類、設(shè)計(jì)類、制造類等。“此次引進(jìn)的半導(dǎo)體項(xiàng)目，將為園區(qū)半導(dǎo)體設(shè)備類產(chǎn)業(yè)發(fā)展帶來新生力量，將進(jìn)一步強(qiáng)化產(chǎn)業(yè)鏈上下游集群效應(yīng)，有效增強(qiáng)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的集聚力量。”

目前，青島高新區(qū)正在積極引進(jìn)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)上下游企業(yè)，已經(jīng)有20多家相關(guān)企業(yè)在園區(qū)集聚，比如埃地沃茲真空泵制造（青島）有限公司、青島高測科技股份有限公司、青島賽瑞達(dá)電子科技有限公司等。其中，埃地沃茲是世界500強(qiáng)企業(yè)阿特拉斯·科普柯集團(tuán)旗下的品牌企業(yè)，在半導(dǎo)體真空設(shè)備干泵全球市場占有率連續(xù)多年超過50%。埃地沃茲青島公司生產(chǎn)的真空泵可用于半導(dǎo)體制造、平板顯示器制造、鋰電池生產(chǎn)、制藥、冶金以及空氣處理等多種行業(yè)，真空泵年生產(chǎn)能力約2萬臺套。

青島高新區(qū)招商部新一代信息技術(shù)產(chǎn)業(yè)事業(yè)部負(fù)責(zé)人表示，當(dāng)前園區(qū)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)已初具規(guī)模，“下一步，青島高新區(qū)將從芯片設(shè)計(jì)、半導(dǎo)體設(shè)備制造、封裝測試、二代和三代半導(dǎo)體材料生產(chǎn)及加工等半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)細(xì)分領(lǐng)域入手，繼續(xù)擴(kuò)充半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)儲備資源。”